美國(guó)ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可用于快速精確地測(cè)量并控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到由于100ms的控制速度，并保持穩(wěn)定性，并有超低壓降產(chǎn)品可供您選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn) ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體，并存儲(chǔ)20種混合氣

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表

一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請(qǐng)咨詢）

量程比：200:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預(yù)熱時(shí)間：<1s

響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào))

標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無(wú)冷凝

標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力：1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁

黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃

防護(hù)等級(jí)：IP40

* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及

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