低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
  采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉化成基態(tài)分子（原子）的內能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態(tài)。污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。