美國(guó)UVOCS UVO?清洗機(jī)、
紫外臭氧清洗,去除無(wú)機(jī)基 材料(如:石英、硅片、金、鎳、 鋁、砷化鎵,氧化鋁等)上的有 機(jī)污染物;特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí),紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表 面,只需在傳統(tǒng)清洗之后,再用 紫外臭氧清洗幾分鐘就可以。
應(yīng)用說(shuō)明
• 表面的原子級(jí)清洗
•去除有機(jī)分子
•紫外光固化、表面化學(xué)改性
•聚合物粘接、金屬粘結(jié)準(zhǔn)備
•微流控制作、微米/納米構(gòu)型
•表面殺菌、表面氧化
•釋放捕獲的無(wú)機(jī)分子
•快速-大多數(shù)應(yīng)用10分鐘內(nèi)可完成
紫外臭氧清洗工作原理 |
UVO清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈,產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和 等離子氧氣產(chǎn)生,有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解;激發(fā)的 有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體,比如CO?,等。整個(gè)過(guò)程在室溫發(fā) 生,并且只需要1到幾分鐘完成。 |
紫外臭氧清洗可以去除?
皮膚油脂,有機(jī)硅油和油脂,助焊劑,殘留的光刻膠,膠水溶劑,碳等。
怎樣說(shuō)是“超”潔凈?
接觸角測(cè)量方法4-5度。適用AES和ESCA測(cè)量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測(cè)試,在冷凝 和蒸發(fā)時(shí)形成*的彩虹裝的條紋。
美國(guó)UVOCS UVO?清洗機(jī)