王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
三軸超精密氣浮運動臺實現(xiàn)在XYZ方向上超精密定位。
產(chǎn)品特點
可選碳化硅陶瓷氣浮導(dǎo)軌，超性能精度；
平面式氣浮，避免阿貝誤差影響；
重復(fù)定位精度±75nm，定位精度±0.15μm；
速度1m/s，快速的整定時間；
可選光柵或激光尺位置反饋；
龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強；
優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)。
產(chǎn)品圖片
應(yīng)用領(lǐng)域
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，三軸超精密氣浮運動臺相應(yīng)的加工檢測設(shè)備的性能必須提高，我司在運動控制上有著豐富的定位經(jīng)驗，推出了一款平面式H形氣浮運動臺。QFHDS采用有限元分析優(yōu)化的碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)和氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提供高動態(tài)性能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工、納米級飛切拋光加工及高速掃描等行業(yè)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
采用*的碳化硅陶瓷設(shè)計，比鋁合金氣浮導(dǎo)軌性能約高5倍，熱膨脹系數(shù)約低5倍。用此材料及結(jié)構(gòu)提升了動態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，速度達到1m/s,加速度可達4g.利用多年的氣浮軸承制造經(jīng)驗，開發(fā)一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)快速運動和非?？斓奈恢谜?。
根據(jù)應(yīng)用，QFHDS可用于主動或被動隔振系統(tǒng)，可安裝旋轉(zhuǎn)臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設(shè)備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。我們精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保*操作，減少停機時間。同時使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境.
規(guī)格參數(shù)
型號 | 單位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS -400-400-100 | QFHDS -500-500-200 | |||||||
運動軸 | 軸系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | |||||
標準值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.5 | ||||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | μm | ±0.075 | ±0.025 | ±0.1 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.075 | |||
標準值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.4 | ±1 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.75 | ±0.4 | ±0.75 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ±4 | ±1 | ±6 | ±1 | ±6 | |||
標準值 | ±1 | ±6 | ±1.5 | ±7.5 | ±1.5 | ±7.5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | |||
標準值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | |||||
電子分辨率 | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||||||
速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | ||||
加速度 | m/s2 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | ||||
負載 | Kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | ||||
