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三軸精密運動臺

產品型號：RBN150系列

產品應用：三軸精密運動臺應用于微納加工、測試測量及光纖對準等領域。

產品特點

• 非接觸式直驅結構驅動

• 抗蠕動交叉滾柱導軌導向

• 百納米級定位精度

• 納米級微動步距

• 高動態(tài)性能

• 結構可接受定制

產品圖片

產品用材設計

精密運動臺采用非接觸式直線直驅電機驅動，非常適合要求高精度的需求，其不會與磁鐵發(fā)生不良反應，在低速運行時也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會產生振動。直驅電機具有零間隙、零摩擦和良好的動態(tài)性能等特點。

抗蠕動交叉滾柱直線導軌導向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時比較平穩(wěn)；交叉排列,多方向受力時比較穩(wěn)定；該結構可以把平臺高度降低，結構緊湊，減小阿貝誤差的影響。

非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設計，這種緊湊是結構設計，在有限的空間內具有魯棒性和準確度，獲得重復定位精度±75nm，納米級微動步距。

Z軸采用低摩擦氣缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。

精密控制

配合業(yè)界上主導的控制器和驅動器相結合，可提供優(yōu)異的伺服性能、*的控制算法，從而提高動態(tài)性能?？刂破饔姓`差補償功能。

定制化設計

可定制用于真空環(huán)境下的版本。根據(jù)應用可配置大理石基座、隔振臺、光學平臺等整套系統(tǒng)方案。

規(guī)格參數(shù)