美國(guó)Sensaras晟爾斯液位計(jì)189--5407--1837山東展悅
美國(guó)sensaras晟爾斯PLS960多點(diǎn)液位計(jì)
SENSARAS晟爾斯PLS160侵入式單點(diǎn)液位計(jì)
SENSARAS晟爾斯PLS163泥漿液位傳感器
SENSARAS晟爾斯PLS166侵入式單點(diǎn)液位計(jì)
PLS164液位計(jì)
SENSARAS晟爾斯PLS167界面檢測(cè)傳感器
SENSARAS晟爾斯PLS262
美國(guó)Sensaras晟爾斯液位計(jì)
美國(guó)Sensaras晟爾斯PLS960多點(diǎn)侵入式液位計(jì)
半導(dǎo)體、化工
產(chǎn)品概述
超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測(cè)量。
液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要，如ALD，CVD，PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。
PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)專業(yè)用于檢測(cè)非常昂貴的超高純度化學(xué)品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級(jí)粒子等）的準(zhǔn)確數(shù)量，減少化學(xué)廢物，增加產(chǎn)量和利潤(rùn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
通過超聲波回波處理技術(shù)檢測(cè)液體在容器中的存在狀態(tài)。 不受被測(cè)物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響。 探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì)，通過½”或¾” VCR與容器連接。 探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu)，一體式設(shè)計(jì)，無可移動(dòng)部件。 模塊與探頭分離，無需校準(zhǔn)，易安裝。 度有的套管設(shè)計(jì)可根據(jù)用戶不同點(diǎn)位的要求定制。
主要應(yīng)用
- 多點(diǎn)液位測(cè)量
- 高位/溢出報(bào)警
- 低位/停止、再進(jìn)料
- 半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)
技術(shù)規(guī)格
電路
輸入：24VDC
輸出: 每點(diǎn)1A SPDT
1A SPDT 報(bào)錯(cuò)點(diǎn)或自動(dòng)進(jìn)料/退料
本地溫度顯示可選
可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報(bào)錯(cuò)顯示
針對(duì)不同液體也無需校準(zhǔn)
重復(fù)性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗：蕞大250mA（典型）
探頭
材質(zhì)：316L不銹鋼
3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)
1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)
多于7個(gè)點(diǎn)的檢測(cè)請(qǐng)與我們聯(lián)系，可定制達(dá)16個(gè)點(diǎn)。
K-type SLE 溫度傳感器（可選）
蕞低液位檢測(cè)點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
兩個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)最小距離可為2.5毫米
蕞大長(zhǎng)度: 600毫米，若需更長(zhǎng)尺寸與我們聯(lián)系
溫度: 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn))，達(dá)160°C
