王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
產(chǎn)品型號(hào)
QFR-NOTE系列
產(chǎn)品特點(diǎn)
閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)；
直驅(qū)零齒槽效應(yīng)；
高軸向和徑向剛度；
百納米跳動(dòng)誤差；
低噪音結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
高速度穩(wěn)定性
產(chǎn)品圖片
行業(yè)應(yīng)用
精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)滿足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)，在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)跳動(dòng)。
產(chǎn)品性能
精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)面降到低，這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)有效的降低了工作點(diǎn)的高度，大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式結(jié)構(gòu)具有高剛度和大負(fù)載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差也比較小，由此產(chǎn)生的面誤差明顯優(yōu)于其它轉(zhuǎn)臺(tái)或氣浮主軸，實(shí)現(xiàn)超精密轉(zhuǎn)臺(tái)的應(yīng)用。
采用無(wú)齒槽無(wú)刷電機(jī)和氣浮軸承，大限度的提高了定位性能。電機(jī)采用磁路設(shè)計(jì)，以小的熱量產(chǎn)生高扭矩輸出，無(wú)齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉(zhuǎn)等應(yīng)用。
采用精密圓光柵反饋，控制器對(duì)光柵柵距細(xì)分，分辨率達(dá)0.01角秒，軸向跳動(dòng)誤差100nm。結(jié)構(gòu)可定制。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
行程 | degree | 360 | |||
臺(tái)面直徑 | mm | 66 | 148 | 248 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±3 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ≤1.5 | ||||
軸向跳動(dòng)誤差 | Plus值 | nm | 100 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 250 | ||||
徑向跳動(dòng)誤差 | Plus值 | nm | 100 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 300 | ||||
電子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度（空載） | rpm | 300 | |||
負(fù)載 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
供氣壓力 | MPa | 0.5±0.05 | |||
