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雙軸氣浮運動臺定制用于非接觸式輪廓測量。
型號：定制
產品特點
應用于非接觸式輪廓測量；
行程170mm*360°；
非接觸式氣浮直驅結構；
結構緊湊，高精度；
跳動指標精度高；
產品圖片
產品結構描述
雙軸氣浮運動臺定制分別采用氣浮導軌（Z軸）和氣浮軸承（C軸）導向，直驅電機驅動及光柵尺閉環(huán)反饋，Z軸用低摩擦氣缸配重，有效抵消電機向上輸出力，應用于非接觸式輪廓測量。
氣浮結構因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，不會出現磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮軸承不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇
用濟南青大理石作為基座，濟南青大理石因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應用于運動臺上質量可靠。大理石做模態(tài)分析，結構尺寸，依據客戶的要求做最終設計。
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規(guī)格參數
軸系 | Z軸 | C軸 |
行程 | 170mm | 360° |
定位精度 | ±0.3μm | ±2arc sec |
雙向重復定位精度 | ±0.1μm | ±1arc sec |
全行程直線度 | 0.75μm | — |
全行程平面度 | 0.75μm | — |
同步軸向跳動 | — | 200nm |
同步徑向跳動 | — | 200nm |
速度 | 100mm/s | 100rpm |
負載（組裝后） | 5Kg | |
