一、概述

用途：本設(shè)備主要用于腔體抽真空

規(guī)格：a、結(jié)構(gòu)形式：方管機(jī)構(gòu)；

      B：極限真空度：優(yōu)于2×10-4Pa

      C：操作方式：手動(dòng)；

      D：冷卻方式：水冷；

      e：總功率：2kw；

      F：輸入電壓：AC220V±10%

二、操作步驟說(shuō)明

1.插上外接電源線，放開(kāi)急停按鈕，按下電源啟停開(kāi)關(guān)

2.機(jī)組啟動(dòng)：a、（全手動(dòng)）先按下機(jī)械泵啟動(dòng)按鈕，機(jī)械泵開(kāi)始運(yùn)行。當(dāng)真空度優(yōu)于10pa后，在按下分子泵啟動(dòng)按鈕，分子泵開(kāi)始運(yùn)行。

B、（半自動(dòng)）先按下分子泵啟動(dòng)按鈕，再按下機(jī)械泵啟動(dòng)按鈕，機(jī)械泵開(kāi)始運(yùn)行。待真空度優(yōu)于10pa后，分子泵會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)。

備注: b1.分子泵和機(jī)械泵、復(fù)合真空計(jì)之間有連鎖關(guān)系，所以分子泵啟 動(dòng)必須具備以下關(guān)系才能啟動(dòng): a:機(jī)械泵按鈕按下; b:真空度優(yōu)于10Pa,以上兩個(gè)條件缺一不可。 b2、 機(jī)組運(yùn)行過(guò)程中，真空計(jì)電源不能斷掉，否則分子泵無(wú)法運(yùn)行

3、機(jī)組停止:按下分子泵啟停按鈕，分子泵開(kāi)始停止工作，分子泵電源顯示屏上顯示的轉(zhuǎn)速逐漸降低。當(dāng)分子泵電源顯示屏上的轉(zhuǎn)速變?yōu)?/span>0后，關(guān)閉機(jī)械泵按鈕。

4、最后關(guān)閉電源啟停按鈕，按下急停按鈕

三.安全保護(hù)裝置及事故處理

安全保護(hù)裝置:電源安全保護(hù)裝置;

注意事項(xiàng):

1. 開(kāi)機(jī)之前確保電源、 冷卻水供應(yīng)正常:

2. 設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，經(jīng)常檢查機(jī)械泵、分子泵運(yùn)行是否正常。

設(shè)備故障應(yīng)急處理

1. 如遇設(shè)備異常請(qǐng)及時(shí)請(qǐng)專業(yè)的電氣、機(jī)械維修人員進(jìn)行維修;

四.設(shè)備保養(yǎng)及維護(hù)

真空管道的維護(hù)

1. 抽氣管道每年應(yīng)清理一次。

長(zhǎng)期停產(chǎn)時(shí)的維護(hù)和保養(yǎng)

1如果停產(chǎn)， 設(shè)備長(zhǎng)期不使用也應(yīng)對(duì)設(shè)備作必要的維護(hù)，

2.抽真空除盡爐體內(nèi)潮氣，然后充入氨氣至常壓:

3.對(duì)電氣部件每隔三個(gè)月進(jìn)行一次通電，每次通電一小時(shí)左右。

五.設(shè)備運(yùn)輸及貯存

運(yùn)輸注意事項(xiàng)

本設(shè)備搬運(yùn)時(shí)不得顛倒、側(cè)放或碰撞，以避免損壞設(shè)備。

貯存條件、期限及注意事項(xiàng)

1. 用戶如暫不使用設(shè)備，請(qǐng)不要打開(kāi)包裝箱，應(yīng)妥善存放在相對(duì)濕度不超過(guò)90%和通風(fēng)良好的場(chǎng)所，不得顛倒和側(cè)放，其貯存期應(yīng)不大于六個(gè)月。

2.注:不得露天