氣體流量傳感器 特點
;靈敏度高，有極小的始動流量；
;傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
;在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比
達(dá)到了100:1甚至更高；
;各種連接方式，易于安裝與使用；
;輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或
由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
;LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現(xiàn)場用鍵盤配
置流量計參數(shù)；
;可記錄自上電以來瞬時流量的zui大值和zui小值，具
有超量程指示功能；
;零點穩(wěn)定度高；
;全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性；
;低功耗、低壓損；
;響應(yīng)速度快。
氣體流量傳感器簡介
氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系
列流量計均采用本公司自主研發(fā)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清
潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通
訊接口可實現(xiàn)對流量計的靈活配置與參數(shù)查詢。
具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用
戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。
應(yīng)用
;環(huán)境監(jiān)測
;電纜充氣機
;
;
;設(shè)備通風(fēng)檢測裝置
;其他工業(yè)應(yīng)用
性能指標(biāo)
部件描述
性能參數(shù) 單位
通徑： 8 mm
zui大流量： 20 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±（1.5+0.2FS）
重復(fù)性%： 0.75
零點輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應(yīng)時間ms：100（默認(rèn)，50，100，200，500，1000可設(shè)置）
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數(shù)碼管顯示，2個指示燈
指示單位：瞬時流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設(shè)置
zui大流量壓損： 600 Pa
zui大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 8mm螺紋接口（外） /快插
鍵盤：三個按鍵
引出線：5針插頭，配0.5m電纜
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)氣體空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量g：57
產(chǎn)品關(guān)鍵詞：，流量傳感器，氣體傳感器
