紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
技術(shù)參數(shù) | |
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主要參數(shù) |
● 功率:大350W ● AC 208~240V,單相 50/60Hz
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應(yīng)用 |
● 去除分子級(jí)別的污染物 ● 紫外光固化粘合劑 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蝕 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
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紫外燈 |
● 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈 ● 功率:55W ● 發(fā)出光的波長(zhǎng):254 nm 和 185 nm ● 使用壽命:2500 小時(shí)(可更換) ● 照射區(qū)域:200 x 200 mm
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腔體&樣品臺(tái) |
● 不銹鋼殼體 ● 抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣 ● 樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm ● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 ● 樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm-40mm(可調(diào)) ● 樣品臺(tái)可以加熱,MAX溫度可達(dá)150℃ ● 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃ ● 設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒- 99.9小時(shí)
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排氣口 |
● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 ● 請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外 ● 儀器中不包含橡膠管
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環(huán)境要求 |
● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi) ● 溫度范圍:41-104華氏度 ● 大相對(duì)濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對(duì)濕度 ● 主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10% ● 污染等級(jí)2; 臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb
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外形尺寸 |
● 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
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凈重 |
28kg
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認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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質(zhì)保期 |
● 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。 |