半導(dǎo)體行業(yè)晶圓制造（Wafer Fabrication）、晶圓測(cè)試（Wafer Probe/Sorting)、蝕刻、CMP、CVD、芯片封裝（Assemble）、測(cè)試（Test）及后期成品（Finish Goods）等相關(guān)設(shè)備工藝需要使用超高純，低污染，耐腐蝕，耐等離子（NF3)特性及壓縮變形冷流功能優(yōu)異的橡塑元件。
有諦工業(yè)科技（上海）有限公司具有高潔凈度、低滲透性能的高分子新材料橡塑元件滿足電子制造服務(wù)公司(EMS)與原始設(shè)備制造商 (OEM)復(fù)雜的嚴(yán)苛需求。成熟的行業(yè)配套經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)制造能力配合潔凈室生產(chǎn)包裝，高效避免半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件污染和芯片故障。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)零部件*新材料包括 Kalrez® FFKM（全氟醚橡膠）， VICTREX PEEK（聚醚醚酮），DAIKIN PCTFE（聚三氟氯乙烯），3M PTFE/PFA（聚四氟乙烯），Arkema PVDF（聚偏氟乙烯）等，滿足符合SEM F57等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和領(lǐng)域認(rèn)證，能大程度提高關(guān)鍵半導(dǎo)體制程的良率。其中典型應(yīng)用包括閥門O型圈，門密封，CMP支撐環(huán)，腔室密封等元件。
