王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
產(chǎn)品簡介
五軸精密運(yùn)動臺RBXG XY軸為雙驅(qū)龍門結(jié)構(gòu)，行程800mmx200mm。
Z軸結(jié)構(gòu)，行程12.5mm。
Epin采用音圈電機(jī)驅(qū)動，光柵尺閉環(huán)反饋，用于晶圓切換。
XY軸中，結(jié)構(gòu)緊湊，有效降低工作點(diǎn)的高度，降低阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響，應(yīng)用于晶圓加工及檢測等領(lǐng)域。
大理石機(jī)體因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應(yīng)用于運(yùn)動臺上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計(jì)。
五軸精密運(yùn)動臺RBXG 可接受定制
規(guī)格指標(biāo)
軸系 | 測試項(xiàng)目 | 單位 | 指標(biāo)要求 | 實(shí)測指標(biāo) |
X 龍門軸 | 行程 | mm | 800 | 800 |
補(bǔ)償后定位精度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
單向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
直線度 | μm | ±4 | ±0.55 | |
平面度 | μm | ±3 | ±0.85 | |
俯仰 | arc sec | ±5 | ±1.95 | |
偏擺 | arc sec | ±4.5 | ±1.4 | |
微動步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補(bǔ)償后定位精度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
單向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
直線度 | μm | ±1 | ±0.65 | |
平面度 | μm | ±2 | ±0.95 | |
Pitch | arc sec | ±5 | ±3.1 | |
Yaw | arc sec | ±4.5 | ±0.8 | |
微動步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Z 軸 | 行程 | mm | 12.5 | 12.5 |
補(bǔ)償后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
單向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
微動步距 | nm | 100 | 100 | |
工作速度 | mm/s | 8 | 8 | |
C 軸 | 行程 | ° | 1 | 1 |
單向重復(fù)定位精度 | ° | ±0.003 | ±0.0007 | |
微動步距 | ° | 0.001 | 0.001 | |
工作速度 | °/s | 1 | 1 | |
Epin | 行程 | mm | 15 | 15 |
單向重復(fù)定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
XY | 正交 | arc sec | 10 | 1 |
— | 負(fù)載 | kg | 3 | 3 |
