產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
立式管式氣氛爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對(duì)樣品快速升降溫,四面加熱,溫場(chǎng)更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電極測(cè)試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!
適用范圍:
主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 立式管式氣氛爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S5010LK1 |
爐管尺寸 | Φ50×1000mm |
溫區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
恒溫區(qū)長 | 200mm |
工作溫度 | 1100℃(此溫度為*加熱溫度) |
zui高溫度 | 1200℃ |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示) |
恒溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
溫控精度 | ±1℃ |
加熱速率 | 0~20℃/分 |
加熱元件 | 含鉬合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
zui大功率 | 3KW |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
真 空 度 | 雙極旋片機(jī)械泵:10^-2 torr 泄漏率<5 mtorr / min |
供氣系統(tǒng) | 該爐配有浮子流量計(jì),客戶可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。 |
爐管材質(zhì) | 氣煉石英管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
測(cè)溫元件 | K型熱電偶測(cè)溫 |
凈 重 | 70KG |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞 |
電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
標(biāo)準(zhǔn)配件:
氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
高溫手套×1 | 坩堝鉤×1 | 熱電偶×1 |
剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |