產(chǎn)品介紹:
CVD系統(tǒng)由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,zui高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-T1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
應(yīng)用范圍:
KJ-1200T-S6012LK1-3F5S型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
規(guī)格參數(shù):
高溫爐殼體 | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃,內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 |
功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長(zhǎng)使用壽命) |
zui高工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
zui快升溫速率 | <= 20 ℃ |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400 mm |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150 (+/-1 ℃) |
控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 |
控溫精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系統(tǒng) | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min |
真空泵 | 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。 |
數(shù)字式真空顯示計(jì) | 進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr |
混氣系統(tǒng) | 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS) 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
尺寸 | 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm |
凈重 | 60kg |
標(biāo)準(zhǔn)配件:
浮子混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對(duì)、高溫手套1副、剛玉坩堝2個(gè)、說(shuō)明書1份