一、概述
1.氣體從鋼瓶出來,經(jīng)過減壓閥減壓,通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量,然后經(jīng)過混氣罐,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口,氣體從出氣管出來,經(jīng)過三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。
2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。
3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。
4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì),氣路內(nèi)部全采用四氟管,耐腐蝕性好。
5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。
二、技術(shù)參數(shù):
氣路通道: 4
氣路流量控制:質(zhì)子流量控制器。
接 口: Φ6
顯 示: LED
工作環(huán)境溫度: 5~45℃
流量控制器: 質(zhì)子流量控制器(詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請查看后面)
四氟管:Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 閥:Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大,不然容易造成漏氣,只要?dú)怏w能正常流出來即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置:
1、質(zhì)子流量計(jì):4個
2、壓力表:1個
3、截止閥門:5個
4、穿板接頭:5個
5、閥門接頭:2個
6、鋼瓶接頭: 4個
7、聚四氟乙烯管:20M
8、混氣罐:1個
9、爐架:1臺
質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):質(zhì)子流量控制器普通型,模擬電路,橡膠密封,管狀分流,不易堵塞。
主要指標(biāo):
量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意選擇量程)
- 準(zhǔn)確度:±1.5% F.S
- 線性:±0.5~1.5% F.S
- 重復(fù)精度:±0.2% F.S
- 響應(yīng)時間:10S
- 氣壓降:<0.01MPa
- zui大壓力:3MP
- 工作環(huán)境溫度:5~45℃
- 輸入輸出信號:0~+5.00V
- 電源:+15V 50mA -15V 50mA
- 外形尺寸:158*30*110