管式真空爐是在原有管式爐的基礎(chǔ)上,增加真空系統(tǒng),得到高潔凈腔體,提供清潔無(wú)雜質(zhì)的高真空狀態(tài),加熱溫度均勻且能夠精確控制,特別適用于半導(dǎo)體器件或其他對(duì)環(huán)境要求高的材料的退火工藝,工件質(zhì)量?jī)?yōu)良,成品率高。
設(shè)備特點(diǎn):
1、外形美觀,占地面積小
2、采用高精度、多功能溫控儀,可自動(dòng)調(diào)節(jié)與修改PID參數(shù),存儲(chǔ)控溫曲線并可隨時(shí)修改、刪除以及重新設(shè)定,操作簡(jiǎn)單方便
3、具備多項(xiàng)故障顯示,報(bào)警及連鎖保護(hù)功能
4、爐體可以移動(dòng)推拉,以加速低溫段的降溫
應(yīng)用范圍:
用于陶瓷電路、傳感器燒結(jié)及退火處理、永磁合金制造、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無(wú)氧化光亮熱處理等工藝。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 管式真空爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1100-LZ-1R |
溫度 | 1100℃ |
工作溫度 | 1000℃ |
物料尺寸 | 2~8英寸圓片或方片 |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 400~800mm |
恒溫區(qū)精度 | ≤±0.5℃(600~1000℃),≤±1℃(300~600℃) |
升溫速率 | 10℃/min |
極限真空度 | ≤5×10-3Pa |
氣路系統(tǒng) | 氧氣、氮?dú)?、氬?/td> |
更多參數(shù)要求可根據(jù)要求來(lái)定制 |
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