采用流行測(cè)試方法庫(kù)侖電量法原理，測(cè)試腔分上下兩部分，薄膜固定在中間，高純氧氣在薄膜的上腔流動(dòng)，高純氮?dú)庠诒∧さ南虑涣鲃?dòng)，氧分子透過(guò)薄膜擴(kuò)散到另一側(cè)的氮?dú)庵?，被流?dòng)的氮?dú)鈹y帶至傳感器，通過(guò)對(duì)傳感器測(cè)量到