Alicat的21S系列抗腐蝕型氣體質(zhì)量流量計/控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。