凈化工程機(jī)精密微電子凈化工程一般包括：1）潔凈生產(chǎn)區(qū)2）潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）風(fēng)淋室3）管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）4）設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用