半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)2,頻率20~120kHz的超聲波進(jìn)行清洗。表1是同一段不同板號(hào)的MCP采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測(cè)試結(jié)果。由檢測(cè)結(jié)果可見,對(duì)1μm以下的小顆粒污染物,應(yīng)選用頻率40kHz以上的超聲波進(jìn)行清洗。