潔凈烤箱也稱為無(wú)塵烘箱,主要通過(guò)空氣過(guò)濾器來(lái)凈化環(huán)境,避免空氣中的細(xì)小顆粒物進(jìn)去箱內(nèi)。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)100級(jí)耐高溫高效空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾，使工作室內(nèi)處于無(wú)塵狀態(tài)。無(wú)塵烘箱適用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷