怡和興研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓烤箱，可執(zhí)行晶圓級(jí)預(yù)燒和磁性退火等前道半導(dǎo)體功能，以及組裝/晶圓級(jí)包封功能（例如黏晶固化、穩(wěn)定性和預(yù)燒測試以及熱沖擊），以滿足其退火、干燥及熱分解需求，還滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和