潔凈干燥箱別名（無塵烘箱）系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等資料涂膠前的預(yù)處置烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)迫送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)構(gòu)造，溫度