無塵室：均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式，即無塵室內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn)，氣流的方向和速度均保持*，這樣可以使?jié)崈舻目諝庀蟆盎钊币粯樱瑢⑹覂?nèi)的塵埃粒子以Z快的速度帶走。