超高純度直列式氣體過濾器,均為316L不銹鋼結(jié)構(gòu),高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用,尺寸緊湊、端接可變產(chǎn)品特點(diǎn)■15至300SLPM的寬流速范圍■能地兼容大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體■3納米顆粒過濾能力可以以最小的壓降保持高流動效率