風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）是一種高度的潔凈裝置，可提供半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)等無(wú)塵室內(nèi)的潔凈空氣，安裝在天花板中，符合大型的無(wú)塵室數(shù)百數(shù)千的需求。