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氣體流量傳感器

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產(chǎn)品型號SML系列

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更新時間：2015-12-12 14:08:07瀏覽次數(shù)：671次

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緣循智能科技（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

SML系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用微電子系統(tǒng)流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：

SML系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用微電子系統(tǒng)流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快

主要參數(shù)：

性能參數(shù)	SML		單位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±（1.5+0.2FS）		%
重復(fù)性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機(jī)械接口	可拆式軟管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量	15		g