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詳細(xì)介紹
配備AutoMET測(cè)量分析軟件的Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡
專為高精度的藍(lán)寶石圖形化襯底表征設(shè)計(jì)的原子力顯微鏡
搭配AutoMET™測(cè)試分析軟件的Bruker Dimension Edge™ PSS 原子力顯微鏡具有，是專為LED檢測(cè)設(shè)計(jì)的用于生產(chǎn)和研發(fā)的原子力顯微鏡。作為Dimension Edge AFM的延伸，現(xiàn)在推出的Edge PSS （藍(lán)寶石圖形化襯底）測(cè)試體系將原有的Dimension系列原子力顯微鏡強(qiáng)大的測(cè)試功能和升級(jí)的圖形化襯底高精度檢測(cè)*結(jié)合，成為LED檢測(cè)的理想選擇。
利用AFM的超高分辨率提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測(cè)量，配備齊全的AutoMET測(cè)試分析軟件，自動(dòng)測(cè)試每一個(gè)樣品細(xì)節(jié)，并且高效迅速地完成數(shù)據(jù)分析獲得完整的藍(lán)寶石圖形化襯底的信息，大大提升Dimension Edge™ PSS 原子力顯微鏡的性價(jià)比，提供*的自動(dòng)化測(cè)量分析功能。
*的 PSS 檢測(cè)技術(shù)
利用AFM的超高分辨率提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測(cè)量，配備齊全的AutoMET測(cè)試分析軟件，自動(dòng)測(cè)試每一個(gè)樣品細(xì)節(jié)，并且高效迅速地完成數(shù)據(jù)分析獲得完整的PSS信息：
· 高度
· 側(cè)壁角度
· 表面輪廓
· 直徑（底部尺寸）
· 間距
Dimension Edge PSS AFM配備自動(dòng)檢測(cè)成像軟件，提供的高精度測(cè)量數(shù)據(jù)，滿足技術(shù)要求，噪聲水平<0.2nm，提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測(cè)量；樣品臺(tái)可容納2-到6-英寸的wafer，可以靈活選擇樣品尺寸進(jìn)行測(cè)量；AutoMET自動(dòng)測(cè)量分析軟件可以同時(shí)測(cè)量9片2-英寸的wafer。
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