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526974-05 HEIDENHAIN光柵尺 直銷(xiāo)價(jià)

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更新時(shí)間:2018-08-31 15:30:51瀏覽次數(shù):650

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526974-05 HEIDENHAIN光柵尺 直銷(xiāo)價(jià)
海德漢的光柵尺的分辨率高達(dá)1納米,光柵尺的精度高達(dá)±0.1微米

詳細(xì)介紹

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德國(guó)海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理:
莫爾條紋
以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱(chēng)為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說(shuō),莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱(chēng)為莫爾條紋的寬度,以W表示。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。 

莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距,莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱(chēng)量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,目前(2006年)光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。
 

光柵尺id:329983-14

id:336973-70

編碼器mt12 id:243602-06讀數(shù)頭id:326799-02

線性編碼器id:336973-69,ls603c,mi220mm

lb382c ml640mm .315418-02

ls703 ml470mm .336976-07

ls1378c ml170 # 516308-b1+電纜 ls1378c適配電纜(光柵尺配用)

ls406c ml4200mm,id:329983-14

type:mt12(id:243602-06)

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