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詳細(xì)摘要： 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備多年專業(yè)電子設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗，鑄就成熟工藝及成熟產(chǎn)品，且成膜均勻性好，并具有較高的轉(zhuǎn)換效率。