真空烤盤爐

應(yīng)用于LED行業(yè)MOCVD石墨盤的真空烘烤工藝

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 優(yōu)質(zhì)的材質(zhì)保證了設(shè)備的密封性，提高了設(shè)備的整體性能

● 法蘭盤冷卻水處理，密封處全部采用氟橡膠密封圈，保證設(shè)備的密封性及使用壽命

● 內(nèi)置冷卻電機(jī)，保證設(shè)備的低漏率，且運(yùn)行可靠

● 真空室的壓升率為5×10-3Torr /h，氦質(zhì)譜儀進(jìn)行檢漏，漏率在E-11Pa.m3/s級(jí)

真空烤盤爐

應(yīng)用于LED行業(yè)MOCVD石墨盤的真空烘烤工藝

產(chǎn)品特點(diǎn)

●  優(yōu)質(zhì)的材質(zhì)保證了設(shè)備的密封性，提高了設(shè)備的整體性能

●  法蘭盤冷卻水處理，密封處全部采用氟橡膠密封圈，保證設(shè)備的密封性及使用壽命

●  內(nèi)置冷卻電機(jī)，保證設(shè)備的低漏率，且運(yùn)行可靠

●  真空室的壓升率為5×10-3Torr /h，氦質(zhì)譜儀進(jìn)行檢漏，漏率在E-11Pa.m3/s級(jí)

●  全自動(dòng)程序控制功能，自動(dòng)化程度高，自動(dòng)與手動(dòng)可隨時(shí)轉(zhuǎn)換，處理異常情況極為方便

●  關(guān)鍵部件全部采用進(jìn)口部件，具有高可靠性

●  具有良好的人機(jī)界面

●  系統(tǒng)故障自診功能

●  完善的報(bào)警系統(tǒng)及安全系統(tǒng)

●  具有歷史記錄功能

●  可根據(jù)用戶的特殊要求增減開發(fā)相應(yīng)功能

 

 

 

 

     技術(shù)指標(biāo)

 

規(guī)格與性能	VBF-465	VBF-650	VBF-800	VBF-1000
安裝尺寸 W×L×H	2450×2500×2050	2480×2500×2150	2930×2880×2400	3310×3000×2700
加熱區(qū)尺寸φ×L	Φ520×700	Φ750×750	Φ890×1000	Φ1080×1100
工作區(qū)尺寸φ×L	Φ480×600	Φ650×740	Φ800×900	Φ1000×1000
載重量	120Kg～200Kg
加熱體功率	環(huán)狀石墨加熱器 380V 三相  總加熱功率90～120KVA
絕熱系統(tǒng)	多層石墨氈、柔性石墨紙
高溫度	1450℃（超溫限制）
分壓氣體選擇	N2/混合氣體（Forming gas）
備壓氣體選擇	N2
大升溫速率	10℃/min(空爐)
溫度均勻性	±4℃（800～1400℃）
冷態(tài)真空度	（冷爐、空載、大氣壓狀態(tài)下達(dá)到10-3 Torr）:≤30min
抽氣速率	清潔空爐：30min大于10-2 Torr
腔體漏率	5×10-3 Torr/h
大冷卻速率	快冷開啟之前可控可編

 

真空烤盤爐