詳細(xì)介紹
Dateblat LabSpin 旋轉(zhuǎn)勻膠機
實驗室涂膠顯影方案,大尺寸6”到8”
該系統(tǒng)根據(jù)實驗室和研發(fā)用途定制開發(fā),針對不同類型的光刻化學(xué)試劑設(shè)計,通過*的腔體設(shè)計,提供均勻、精確和重復(fù)性高的涂膠結(jié)果.
LabSpin系統(tǒng)提供兩種型號的設(shè)備,分別是桌上型(table-top,TT)和集成型(集成在濕化學(xué)槽中,Bench Module,BM),都可以完成大尺寸為150mm或200mm的襯底涂覆功能。LabSpin涂膠機可以應(yīng)用于非常廣泛的襯底材料,從碎片到150/200mm圓片或100x100mm/150x150mm方片。非常小的設(shè)備尺寸只需要很小的占地空間。
LabSpin設(shè)計了大量的選配件,適用于不同應(yīng)用的需求。該涂膠系統(tǒng)可以裝配針筒或自動滴膠臂、邊緣涂覆、去厚膠邊、積水式顯影等等多種配置。
藍(lán)星宇科技專業(yè)研發(fā)設(shè)計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準(zhǔn)分子清洗機,等離子清洗機等儀器設(shè)備。引進日本,德國,韓國*技術(shù),設(shè)備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業(yè)等客戶*認(rèn)可。
同時我們專注進口科學(xué)儀器設(shè)備及材料,主要代理有:德國Nanoscribe 雙光子微納 3D 打印機(雙光子飛秒激光直寫儀),德國 SUSS 蘇斯光刻機,德國 Heidelberg 海德堡光刻機,美國 OAI 光刻機,德國 Raith 電子束光刻機,英國 Durtham 無掩膜光刻機,美國 Trion 刻蝕機.沉積機,德國 Sentech 刻蝕機.沉積機,德國 Optosol 吸收率發(fā)射率檢測儀,日本 SEN UV清洗機.UV清洗燈,美國Jelight UV清洗機,美國 Nano-master 晶圓清洗機,美國 Arradiance 原子層沉積機,德國 WL 微波離子沉積機,德國 Iplas 微波離子沉積機,美國量子科學(xué) Quantum 綜合物性測量系統(tǒng),德國 Diener 等離子清洗機等*技術(shù)產(chǎn)品;并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)儀器及材料。我們以具競爭力的價格為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為中國半導(dǎo)體/電子/光電/生物//高科技企業(yè)/高校學(xué)院/研究所/檢測分析等客戶提供設(shè)備儀器及材料。
選項:
全自動
- ACS300 Gen3
- ACS300 Gen2
- ACS200 Gen3
半自動及手動
- LabSpin6 / LabSpin8
- RCD8
亮點:
。工藝多樣化,包括涂膠和積水或顯影,
??蛇M行去除厚膠邊,
。滴膠位置可調(diào)節(jié),允許中心滴膠和邊緣涂膠。
Dateblat LabSpin 旋轉(zhuǎn)勻膠機