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光刻機(jī)一般分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，精度為七納米至幾微米之間，光刻機(jī)是世界上*精密的儀器，對振動的要求非常高。瑞典VMI viber-x5振動分析儀所采用的振動標(biāo)準(zhǔn)為VC微振動標(biāo)準(zhǔn)，VC微振動標(biāo)準(zhǔn)分為：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。對于潔凈室的光刻機(jī)設(shè)備的振動要求機(jī)臺振動必須滿足CV-D 6.25um/s RMS以下。*的光刻機(jī)制造商荷蘭ASML要求潔凈室的樓板及機(jī)臺振動必須符合VC-D標(biāo)準(zhǔn)才能實(shí)施裝機(jī)，某半導(dǎo)體制造商使用瑞典VMI viber-x5振動分析儀進(jìn)行潔凈室的現(xiàn)場數(shù)據(jù)采集，發(fā)現(xiàn)潔凈室樓板的振幅只能滿足VC-C12.5um/s RMS，無法滿足CV-D 6.25um/s RMS。通過瑞典VMI viber-x5振動分析儀的頻譜分析功能，發(fā)現(xiàn)了振動超標(biāo)的頻率并成功找到振動源，經(jīng)過瑞典VMI振動分析師的協(xié)助成功的解決了潔凈室樓板振動。