HPC1100高壓控制器
產品概述
- 產品名稱:高壓控制器
- 產品型號:HPC1100
- 品牌:LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
- 采樣流量:28.3L/min
- 粒徑范圍:0.1μm 或更大
- 流速:1.0 CFM
- 輸出壓力:接近大氣壓
- 輸入壓力:30-150 psi
- 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm
設計采用了新技術, 在高壓氣體成分HPC1100高壓控制器允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計數(shù)器對高壓(30-150 psi)的惰性氣體系統(tǒng)提供工藝氣體污染的監(jiān)測能力。
HPC 1100的不銹鋼設計堅固耐用,可靠,幾乎不需要日常維護和校準。在正常操作過程中,惰性氣體可被回收采樣過程中使用100
的供氣。
產品特色
特征
優(yōu)點
應用
- 可用于任何惰性氣體
- 輕松設置
- 安裝簡單
- 前置流計
- 直觀的用戶控制
- 安靜的操作
- 快速清除和清理
- VCR接頭內部和外部
- 不銹鋼結構
- 在正常操作過程中的零氣體廢物
- 近常壓輸出
- 低噪聲
- 小尺寸
- 便于系統(tǒng)集成
- 2年保修的
- 較低的擁有成本
- 工藝鑒定
- 半導體制程監(jiān)控
- 平板過程監(jiān)控
- 過程趨勢分析
主要技術參數(shù)及性能:
粒徑范圍
0.1μm 或更大
流速
1.0 CFM
輸出壓力
接近大氣壓
輸入壓力
30-150 psi
兼容氣體
氮,氬氣,氦氣
運行噪音
<60 db
外殼
不銹鋼
材質
316L 不銹鋼
尺寸
5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
重量
6 lbs (2.7 kg)
隨機配件
采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽;套圈
可選件
備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)