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更新時(shí)間：2024-09-03 07:41:58瀏覽次數(shù)：64次
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超高純度直列式氣體過濾器,均為316L不銹鋼結(jié)構(gòu),高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用,尺寸緊湊、端接可變產(chǎn)品特點(diǎn)■15至300SLPM的寬流速范圍■能地兼容大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體■3納米顆粒過濾能力可以以最小的壓降保持高流動(dòng)效率■5Ra電拋光表面可防止內(nèi)部污染■去離子水清洗后用熱氮?dú)夂婵?/p>
超高純度直列式氣體過濾器,均為 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用,尺寸緊湊、端接可變
產(chǎn)品特點(diǎn)
■15 至 300 SLPM 的寬流速范圍
■能地兼容大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體
■3 納米顆粒過濾能力可以以最小的壓降保持高流動(dòng)效率
■5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染
■去離子水清洗后用熱氮?dú)夂婵?，以滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)
■100 等級(jí)制造、清潔和包裝環(huán)境
■99% 通過氦氣泄漏測(cè)試
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