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歐司朗研發(fā)出低成本且可取代藍寶石襯底的硅襯底
閱讀：527 發(fā)布時間：2012-5-30
【高工LED綜合報道】歐司朗光電半導體公司的研究人員表示，在所進行的研究中成功在硅襯底上生產(chǎn)出了氮化鎵LED芯片，取代了目前普遍使用的較為昂貴的藍寶石襯底。
硅是一種標準半導體材料，作為LED襯底具有尺寸大、成本低、易加工、導電好等優(yōu)異性能。但技術(shù)難點在于硅與氮化鎵的熱膨脹系數(shù)不同，在制造過程中極易產(chǎn)生應力，從而導致薄膜厚度不均或破裂，因此一直未能在LED業(yè)界獲得廣泛應用。通過一項特殊工藝，新技術(shù)不但避免了此前出現(xiàn)的開裂現(xiàn)象，還使新型LED的穩(wěn)定性和亮度都與傳統(tǒng)的藍寶石基底LED相當，非常適用于高功率固態(tài)照明。
借助該技術(shù)，歐司朗已經(jīng)成功生產(chǎn)出一個直徑為150毫米（6英寸）的高性能LED晶圓。研究人員已經(jīng)開始著手調(diào)整生產(chǎn)工藝以制造200毫米（8英寸）晶圓。這將進一步增加每個基板上芯片的數(shù)量，降低生產(chǎn)成本。據(jù)了解，目前LED產(chǎn)業(yè)大多以50毫米（2英寸）或100毫米（4英寸）的藍寶石基板為基礎(chǔ)，如能采用硅基氮化鎵技術(shù)，至少可節(jié)省75%的原料成本。
目前這種以薄膜為基礎(chǔ)的新型LED還處于樣品試制階段，之后將在現(xiàn)實使用環(huán)境中對其進行可靠性測試。初步實驗顯示，該技術(shù)制成的藍色和白色硅基LED能達到與目前市場上藍寶石基底產(chǎn)品相似的效能。預計*款使用該技術(shù)的商用LED產(chǎn)品將于兩年后上市。
【免責聲明】本文僅代表作者本人觀點，與高工LED網(wǎng)無關(guān)。高工LED對文中陳述、觀點判斷保持中立，不對所包含內(nèi)容的準確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。請讀者僅作參考，并請自行承擔全部責任。
硅是一種標準半導體材料，作為LED襯底具有尺寸大、成本低、易加工、導電好等優(yōu)異性能。但技術(shù)難點在于硅與氮化鎵的熱膨脹系數(shù)不同，在制造過程中極易產(chǎn)生應力，從而導致薄膜厚度不均或破裂，因此一直未能在LED業(yè)界獲得廣泛應用。通過一項特殊工藝，新技術(shù)不但避免了此前出現(xiàn)的開裂現(xiàn)象，還使新型LED的穩(wěn)定性和亮度都與傳統(tǒng)的藍寶石基底LED相當，非常適用于高功率固態(tài)照明。
借助該技術(shù)，歐司朗已經(jīng)成功生產(chǎn)出一個直徑為150毫米（6英寸）的高性能LED晶圓。研究人員已經(jīng)開始著手調(diào)整生產(chǎn)工藝以制造200毫米（8英寸）晶圓。這將進一步增加每個基板上芯片的數(shù)量，降低生產(chǎn)成本。據(jù)了解，目前LED產(chǎn)業(yè)大多以50毫米（2英寸）或100毫米（4英寸）的藍寶石基板為基礎(chǔ)，如能采用硅基氮化鎵技術(shù)，至少可節(jié)省75%的原料成本。
目前這種以薄膜為基礎(chǔ)的新型LED還處于樣品試制階段，之后將在現(xiàn)實使用環(huán)境中對其進行可靠性測試。初步實驗顯示，該技術(shù)制成的藍色和白色硅基LED能達到與目前市場上藍寶石基底產(chǎn)品相似的效能。預計*款使用該技術(shù)的商用LED產(chǎn)品將于兩年后上市。
【免責聲明】本文僅代表作者本人觀點，與高工LED網(wǎng)無關(guān)。高工LED對文中陳述、觀點判斷保持中立，不對所包含內(nèi)容的準確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。請讀者僅作參考，并請自行承擔全部責任。