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瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺的特點

來源:北京瑞邦精控科技有限公司   2022年12月20日 11:11   1068

氣浮轉(zhuǎn)臺是把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來進(jìn)行非接觸式旋轉(zhuǎn),這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來實現(xiàn)的,泄壓的縫隙特別小,獲得了較高的軸向和徑向跳動誤差。應(yīng)用于晶圓加工與檢測、生物檢測、高精度計量、光學(xué)檢測和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)。

瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺的特點:

1.     閉式氣浮結(jié)構(gòu);

2.     精準(zhǔn)回零位置;

3.     軸向跳動高達(dá)10nm;

4.     手動和電動旋轉(zhuǎn)時軸向和徑向跳動誤差一致;

5.     高速穩(wěn)定性;

6.     解決氣浮轉(zhuǎn)臺抱死的問題;

7.     使用壽命10年以上;

8.     作為A軸可臥式使用。

對氣浮轉(zhuǎn)臺進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計,氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度,承載能力大,可側(cè)向放置使用,解決氣浮抱死的問題。優(yōu)秀的軸向和徑向誤差運(yùn)動,較小的傾角誤差,以及由此產(chǎn)生的性能明顯優(yōu)于其它氣浮轉(zhuǎn)臺和主軸。

氣浮轉(zhuǎn)臺可定制滑環(huán)或氣路接頭,滿足高速度穩(wěn)定性或高精度慣性導(dǎo)航測試的應(yīng)用。由于氣浮轉(zhuǎn)臺徑向剛度大,可定制成AC軸,滿足曲面微加工或測試的應(yīng)用,斷電旋轉(zhuǎn)和自動旋轉(zhuǎn)時跳動誤差保持一致。

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