一、人流

　　首先是人員凈化;電子廠凈化車間入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時，應(yīng)設(shè)氣閘室;單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

　　二、物流

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　一、人流

　　首先是人員凈化;電子廠凈化車間入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時，應(yīng)設(shè)氣閘室;單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

　　二、物流

　　電子廠凈化車間內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施;物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

　　三、靜壓差

　　不同等級的電子廠凈化車間之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa

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