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龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺 詳細(xì)摘要： 龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動，高精度光柵尺或激光干涉儀作為...
產(chǎn)品型號： 所在地：蘇州市 更新時間：2019-11-09 參考價：¥ 500 在線留言
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蘇州高控科技有限公司 |
詳細(xì)摘要： 龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動，高精度光柵尺或激光干涉儀作為...
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