超精密氣浮轉臺

氣浮轉臺的結構經(jīng)過特別優(yōu)化，具有大的空氣承載表面，提供*的剛度和負載能力，不僅具有極小的軸向和徑向運動誤差，還有小化的角擺誤差。平臺表面的綜合運動誤差明顯優(yōu)于其他結構類型的旋轉平臺。氣浮轉臺由無齒槽無刷力矩電機直接驅動，剛性耦合，沒有柔性環(huán)節(jié)，沒有齒槽力矩引起的力矩波動，具有*的帶寬和超平滑的速度軌跡，特別適用于對低速穩(wěn)定性要求*的應用。轉臺的反饋系統(tǒng)由高精度圓光柵構成，通過電子細分技術，能夠實現(xiàn)0.007角秒（arc sec）的機械分辨率（Minimum incremental step）和0.12角秒的定位精度（Accuracy，follow ISO230-2）。
超精密氣浮轉臺參數(shù)