規(guī)格
項(xiàng)目 | 說(shuō)明 |
分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點(diǎn)分辨率) |
加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 |
放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000~1,500,000× |
選區(qū)模式 | 4,000~500,000× |
低倍模式 | 200~500× |
電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱) |
燈絲交換 | 自動(dòng)升降式電子槍 |
高壓電纜 | 阻抗電纜 |
照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級(jí)透鏡 |
聚光鏡光闌 | 4孔可變 |
探針尺寸 | 微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4級(jí)) 納米束模式:1 - 10 nm(4級(jí)) |
電子束傾斜 | ±3° |
成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級(jí)透鏡 |
聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整 利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償 聚焦優(yōu)化 |
物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 |
電子衍射 | | 選區(qū)電子衍射 納米探針電子衍射 會(huì)聚束電子衍射 |
相機(jī)長(zhǎng)度 | 250 - 3,000 mm |
樣品室 | 樣品臺(tái) | 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái) |
樣品尺寸 | 3mmΦ |
樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通過(guò)CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
樣品位置顯示 | 自動(dòng)驅(qū)動(dòng),自動(dòng)跟蹤 |
樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15° (日立雙傾樣品臺(tái)*2) |
防污染 | 冷阱 |
烘烤功能 | 中溫烘烤功能 |
觀察室 | 熒光屏 | 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
目鏡 | 7.5× |
照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
膠片 | 25張(2套膠片盒) |
圖形用戶界面 | | 操作系統(tǒng):Windows XP® |
顯示器 | 19英寸顯示器 |
功能 | 數(shù)據(jù)庫(kù),測(cè)量,圖像處理 |
數(shù)碼CCD 相機(jī)*3 | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 |
A/D 分辨率 | 12位 |
真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵:60 L/s |
鏡筒 | 渦輪分子泵:260 L/s |
觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵:280 L/s 前級(jí)泵:135 L/min × 3臺(tái) |
- *1
- :放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
- *2
- :可選件
- *3
- :本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)
以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的承諾