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產(chǎn)品介紹：
該設備由蒸發(fā)器、混合器和反應器組成。采用氧化鋁纖維耐火材料。設備技術成熟、質量可靠，溫場均勻，結構合理，30段可編程溫控系統(tǒng)，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡單、方便設備的各項技術參數(shù)。

應用范圍：
廣泛應用于半導體工業(yè)中，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜，該設備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學等領域。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號	KJ-T1600-CVD
部分：定制坩堝爐（蒸發(fā)系統(tǒng)）
使用溫度	超過500℃
工作區(qū)尺寸	Φ150 x H320mm（不銹鋼內膽的有效尺寸）
坩堝	310S不銹鋼，形式及具體要求與客戶確認
加熱元件	電阻絲
升溫速率	0-20°C/min
漏率	20Pa/min
第二部分：定制小管式爐（混氣系統(tǒng)）
使用溫度	超過500℃
工作區(qū)尺寸	Φ150 x H200mm（不銹鋼內膽尺寸）
混氣罐	310S 不銹鋼
加熱元件	電阻絲
漏率	20Pa/min
第三部分 1600度管式爐（反應器）
溫度	1600℃
長期工作溫度	1500℃
爐管尺寸	OD100/ID90,加熱區(qū)300mm
爐管材質	高純氧化鋁管
加熱元件	硅鉬棒
漏率	20Pa/min
真空度	抽真空度到-7*10-3Pa 壓力范圍不超過0.02MPa
更多參數(shù)可根據(jù)需求定制

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質量認證。

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