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產(chǎn)品介紹：
KJ-CVD 是一種分體式管式爐，配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。可混合1-6種氣體進(jìn)行CVD。

應(yīng)用范圍：
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		1600 CVD 系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)		KJ-T1600 CVD
部分：標(biāo)準(zhǔn)部分
管式爐	顯示	LED
	爐體	分體式和上部可以打開(kāi)
	溫度	1600℃
	工作溫度	≤1500℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)	300mm
	加熱元件	MoSi2加熱元件
	熱電偶	B 型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管	80 x 1000mm (OD x minimum L)
	爐管	材質(zhì)：高純氧化鋁管
	溫度控制	通過(guò)可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制
	加熱曲線	30 步可編程
	真空法蘭	帶閥門(mén)的不銹鋼真空法蘭
	電壓與功率	220V, 50 Hz, 單相 4KW
真空泵系統(tǒng)	旋片真空泵+擴(kuò)散真空泵	真空泵組：極限真空10-6 Torr。旋片真空泵和擴(kuò)散真空泵將設(shè)計(jì)成推車帶輪子。
質(zhì)量流量計(jì)	四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)：底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝6個(gè)不銹鋼針閥，手動(dòng)控制6種氣體混合

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