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晶圓測(cè)量
       晶圓測(cè)量系統(tǒng)在以生產(chǎn)快速運(yùn)行時(shí)，能否準(zhǔn)確識(shí)別和測(cè)量出晶圓的種種缺陷。這要求機(jī)械裝置的剛性高，精度好，能夠快速響應(yīng)使系統(tǒng)能夠快速穩(wěn)定下來(lái)，達(dá)到目標(biāo)掃描速度識(shí)別出晶圓的種種缺陷，滿足晶圓每小時(shí)生產(chǎn)效率的關(guān)鍵要求，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)成為理想的選擇。
       根據(jù)本行業(yè)應(yīng)用，北京瑞邦精控研發(fā)出QFHDS雙軸H形超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，同時(shí)滿足許多高精度應(yīng)用，如半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，精密掃描，以及平板顯示器制造中。該平臺(tái)均是直接驅(qū)動(dòng)、直接反饋型設(shè)備，經(jīng)過(guò)大量的測(cè)試，可確保達(dá)到高的精度和穩(wěn)定性性能。

指標(biāo)規(guī)格

運(yùn)動(dòng)軸	X(掃描)	Y(步進(jìn))	X(掃描)	Y(步進(jìn))	X(掃描)	Y(步進(jìn))
）	400	400	500	500	600	600
重復(fù)定位精度 (nm)	±75		±100
）	0.3
）	1
）	4
定位穩(wěn)定性（nm大負(fù)載（Kg）	±1
Roll（arc-sec）	±1