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詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳三軸超精密氣浮運動臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工及檢測行業(yè),隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,相應(yīng)的加工檢測設(shè)備的性能必須提高。

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳三軸氣浮運動臺廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對準(zhǔn)等行業(yè)。由于非接觸式移動，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選...