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詳細(xì)摘要： 雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制用于非接觸式輪廓測(cè)量，氣浮直驅(qū)結(jié)構(gòu)，大理石作為機(jī)體，精度高，結(jié)構(gòu)緊湊，結(jié)構(gòu)可定制。

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳應(yīng)用領(lǐng)域RBN-VC-L系列是研發(fā)出的一款高精度的雙軸真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，亞微米級(jí)定位精度，適用于高真空10^-7...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳五軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)RBXG主要應(yīng)用于晶圓加工、測(cè)量，可接受定制

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)滿(mǎn)足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線(xiàn)衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)，在極低的...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳QF100是目前國(guó)良好內(nèi)性能的單軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái),特殊的防塵處理裝置,可作為單軸使用或根據(jù)應(yīng)用與其它軸組裝成系統(tǒng),搭配控制系統(tǒng),制...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳RBDLA系列中孔雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，對(duì)于需要高動(dòng)態(tài)性能和微米級(jí)直線(xiàn)度的雙面LED晶圓加工及檢測(cè)，以及需要高精度和精確性能的測(cè)量應(yīng)...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳三軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工及檢測(cè)行業(yè),隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備的性能必須提高。

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳RBN150系列是我們研發(fā)出的一款三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，百納米級(jí)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)用于微納加工、...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)廣泛應(yīng)用于精密加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等行業(yè)。由于非接觸式移動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)滿(mǎn)足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線(xiàn)衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)，在極...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳AB軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)用于曲面精密加工、測(cè)試測(cè)量等高精度行業(yè)，重復(fù)定位精度1角秒內(nèi)，軸向和徑向跳動(dòng)100nm，正交性5角秒。

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳RBN150單軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)應(yīng)用于微納加工、測(cè)試測(cè)量及光纖對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，百納米級(jí)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊...

詳細(xì)摘要： 王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳RBSV系列是一款長(zhǎng)行程，百納米級(jí)定位精度的精密平升Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，百納米級(jí)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)...

詳細(xì)摘要： RBN150系列是一款納米級(jí)精度的精密Z軸，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，百納米定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)用于微納加工、測(cè)試測(cè)量及光纖對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域。

詳細(xì)摘要： 三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)，XYZ軸行程300mm*300mm*150mm，XY軸直驅(qū)結(jié)構(gòu)，采用大理石作為機(jī)體，高精度指標(biāo)用于激光加工或3D打印等領(lǐng)域。