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隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備的性能必須提高，瑞邦精控在高精度應(yīng)用領(lǐng)域也擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)多年的行業(yè)技術(shù)沉淀之后，為大家?guī)?lái)一款超精密平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)。采用有限元分析優(yōu)化的碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)和氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計(jì)技術(shù)，提高精度的同時(shí)，也提供了動(dòng)態(tài)性能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工、納米級(jí)飛切拋光加工及高速掃描等行業(yè)。

平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)才之所以能夠得到企業(yè)的認(rèn)可，是因?yàn)樗哂兄{米級(jí)別的跳動(dòng)，而且還擁有著高速度的穩(wěn)定性，同時(shí)還可以有效提高定位的精度，所以在使用的過(guò)程中非常適合于目前的高精度的應(yīng)用，在結(jié)構(gòu)上有效把工作臺(tái)面降低，可以有效降低工作點(diǎn)的高度，減少誤差影響。在使用過(guò)程中可以有效體現(xiàn)出高剛度，而且還能夠帶來(lái)更好的承重效果，所以在各個(gè)應(yīng)用上都可以使用。

為什么在眾多的精密設(shè)備中，有許多人會(huì)認(rèn)可平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，是因?yàn)椴捎锰蓟杼沾蓺飧?dǎo)軌，超性能精度；速度1m/s，快速的整定時(shí)間；雙驅(qū)龍門結(jié)構(gòu)，承載能力強(qiáng)；可選光柵或激光干涉儀位置反饋；定位精度±0.15μm，重復(fù)定位精度±75nm；優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)；根據(jù)需求可定制。產(chǎn)品的可靠性在整個(gè)使用的過(guò)程中都不至于會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題，相信伴隨著技術(shù)逐漸的提升，在未來(lái)一段時(shí)間內(nèi)，這種設(shè)備也逐漸會(huì)被大家認(rèn)可。