久久国产精品国产区二久久久,久久精品一区二区在线,欧美日韩久久久免费,一区二区三区久久精品

我們常見的精密運(yùn)動(dòng)臺平臺在各種加工及測試設(shè)備中，為了保證這個(gè)系統(tǒng)的精度，那用什么方法和標(biāo)準(zhǔn)檢測它的精度呢，下面的這些內(nèi)容不可以忽視。

首先我們談下標(biāo)準(zhǔn)，在行業(yè)的規(guī)則里，都是按照數(shù)控機(jī)床的規(guī)范ISO 230-2，GB/T 17421實(shí)施的。當(dāng)然德國VDI,日本JIS等不同國家有不同的標(biāo)準(zhǔn)，總體來說，最終是根據(jù)用戶的應(yīng)用作為參考的，在國內(nèi)用的最多的是ISO和GB標(biāo)準(zhǔn)。

其次關(guān)于測量儀器，行業(yè)通用默認(rèn)的是雷尼紹的氦氖激光干涉儀進(jìn)行測試直線運(yùn)動(dòng)平臺的精度，根據(jù)不同的鏡組，對于直線臺的定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw等指標(biāo)進(jìn)行測試。

然后我們說下測試環(huán)境的溫度，溫度的變化對測試精度影響也是很重要的，一般我們要求在20℃，當(dāng)然溫差約小越好。我們用精密運(yùn)動(dòng)平臺做過大量的實(shí)驗(yàn)，單從溫度角度介紹，設(shè)定溫度在20℃，當(dāng)溫度變化0.25℃以內(nèi)，定位精度不會有任何變化的；當(dāng)溫差±0.3℃時(shí)，定位精度會增加100nm；溫差±0.4℃時(shí)，定位精度會增加300nm；當(dāng)溫度恢復(fù)到20℃，定位精度也會恢復(fù)，所以產(chǎn)品的可靠性很高。

除了以上，還需要考慮環(huán)境振動(dòng)，濕度，空氣擾動(dòng)，測試儀器光路調(diào)整等等，這些條件都會影響到精密運(yùn)動(dòng)平臺的精度檢測，要想測試精度準(zhǔn)確，各個(gè)細(xì)節(jié)都應(yīng)該值得關(guān)注。每個(gè)用戶的應(yīng)用不同，應(yīng)用到的精度不同，我們會如實(shí)的評估給用戶，盡量避免以后應(yīng)用時(shí)遇到問題。