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精密運動臺有直線運動、旋轉(zhuǎn)運動及傾角運動等，這些都是實現(xiàn)精密定位不可分割的一部分，單從直線運動來說，又分滾珠絲桿結(jié)構(gòu)、直驅(qū)線軌結(jié)構(gòu)、直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu)、液壓結(jié)構(gòu)及磁懸浮結(jié)構(gòu)等。不同的結(jié)構(gòu)分別有不同的精度?，F(xiàn)階段市場上應(yīng)用最多的是滾珠絲桿結(jié)構(gòu)和直驅(qū)線軌結(jié)構(gòu)，相對比較精度會低些，那氣浮結(jié)構(gòu)有哪些優(yōu)勢呢？

氣浮結(jié)構(gòu)是解決超精密應(yīng)用中的一部分，其結(jié)構(gòu)由高性能直線電機驅(qū)動，光柵尺和氣浮導(dǎo)軌等主要部件組成。無鐵芯直線電機特點是無齒槽效應(yīng)，高動態(tài)性能及電流噪音小等；配置低熱膨脹系數(shù)的光柵反饋；氣浮導(dǎo)軌接近零的摩擦系數(shù)，平穩(wěn)無摩擦運動，搭配國際上*的控制系統(tǒng)，是精密定位臺整體的穩(wěn)定性比較出色，定位的精度是在亞微米級別，速度可以達(dá)到2m/s，加速度可達(dá)到2G，所以精密定位平臺，尤其是氣浮運動臺已經(jīng)開始得到各科研院所及企業(yè)的認(rèn)可。

它的結(jié)構(gòu)可以完成滿足于較多的應(yīng)用，在目前的精密加工和測試中，這是理想的選擇，可以有效保證高定位精度，對于激光加工行業(yè)，還能夠保證理想的切割直線可以快速的達(dá)到響應(yīng)的作用，是整個系統(tǒng)提升精度性能的重要組成部分。